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      1. 刮邊機/磨邊機/刮邊清洗一體機/磨邊清洗一體機

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        刮邊機/磨邊機/刮邊清洗一體機/磨邊清洗一體機

        主要用途:
        研磨晶圓邊緣因鍍膜工藝中造成的粘連導電物質,以及晶圓切割工藝中造成的邊緣表面凸起部位,以避免因晶圓平整度不佳,而在后道下臘、研磨等工藝中產生晶圓破片、暗裂等不良現象,提升產品TTV。

        主要功能:
        自動上下料、刮邊、清洗、甩干吹干。

        主要特點及優勢:
        破片率低、設備精度高。
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